中圖儀器NS系列接觸式臺階儀是利用光學(xué)干涉原理,，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度,、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測量。是一種接觸式表面形貌測量儀器,。

NS系列臺階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué),、研究實驗室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體,、高亮度LED、太陽能,、MEMS微機電,、觸摸屏、汽車,、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域,。如在太陽能光伏行業(yè)中，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,，具有測量精度高,、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點,。它可以測量各種材料的膜層厚度,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,。

產(chǎn)品特性

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率,，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征,。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)

測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運動中的細(xì)微抖動,，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌,。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺， Z軸自動升降,、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊,，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持,。

NS系列接觸式臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類,、材料硬度都沒有特別要求,，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高,、測量穩(wěn)定,、便捷、高效,，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。